產(chǎn)品類別：氣體質(zhì)量流量計(jì)/流量控制器
產(chǎn)品型號：氣體質(zhì)量流量計(jì)EM1
產(chǎn)品特點(diǎn)：
技術(shù)規(guī)格：
－領(lǐng)先的CMOSaens?技術(shù)
－高性價(jià)比
－輸出數(shù)據(jù)速度快(快至5ms)
－寬量程比，精度高(1:100精度3%m.v.)
－量程范圍：0-0.05ln/min;0-0.5ln/min;0-20ln/min;0-200ln/min
－操作壓力：8bar
－數(shù)字式校驗(yàn)&溫度補(bǔ)償
－數(shù)字式輸出：RS 232/SPI
－標(biāo)準(zhǔn)電源電壓：7-18V
－強(qiáng)固的化學(xué)惰性機(jī)械聚碳酸脂殼體
－安裝形式多樣
－生產(chǎn)符合ISO9001質(zhì)量控制系統(tǒng)認(rèn)證
應(yīng)用領(lǐng)域：
－分析儀器 －干刻（RIE/DRIE）－生物技術(shù) －氣相色譜分析－激光焊機(jī) －過程自動化－真空鍍膜 －燃料電池
下載資料：
EM1 數(shù)據(jù)手冊
