日本Hephaist株式會社NAF3C系列超薄視覺對位平臺結(jié)構(gòu)特點：
與傳統(tǒng)的三層式結(jié)構(gòu)的XYθ結(jié)構(gòu)相比，本品采用三個驅(qū)動軸裝置在同一平面內(nèi)的結(jié)構(gòu)設(shè)計，實現(xiàn)了XYθ運動超薄、低重心的結(jié)構(gòu)設(shè)計。且中間滑動部份采用上下面夾緊兩個軸承的[預(yù)緊雙滑動]結(jié)構(gòu)設(shè)計，使小體積也具有高承載、運行平滑的特性。
預(yù)緊雙滑動結(jié)構(gòu)圖：
產(chǎn)品特性：
1、超薄結(jié)構(gòu)
通過將三個驅(qū)動軸安裝于同一平面內(nèi)，實現(xiàn)結(jié)構(gòu)簡單、超薄的結(jié)構(gòu)特性。
2、高剛性
由于負載安裝不平衡時而產(chǎn)生的側(cè)向扭力及壓力過大而產(chǎn)生的垂直負荷，可能使普通的三點支撐結(jié)構(gòu)變形。本品采用[預(yù)緊雙滑動]設(shè)計，消除了以上因素對運動的影響，増加結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性及產(chǎn)品承載力。同時，也消除了以上因素等對驅(qū)動軸產(chǎn)生的不良影響，使平臺具有高剛性，定位精度不受負載變化影響的特點。
3、客戶可跟據(jù)需要設(shè)定旋轉(zhuǎn)中心
三個驅(qū)動軸安裝于同一平面的結(jié)構(gòu)設(shè)計，使得產(chǎn)品具有了可任意設(shè)定旋轉(zhuǎn)中心的特性。從而方便客戶按照實際需要設(shè)置旋轉(zhuǎn)中心。
動作原理：
通過安裝于同一平面的三個驅(qū)動軸的運動，實現(xiàn)定位要求。
（以下圖示均以平臺回零后的初始位置為基準）
產(chǎn)品參數(shù)
| 型號 |
NAF3C-10 |
NAF3C-16K |
NAF3C-20 |
|
行程
|
X軸:±2mm
Y軸:±2mm
θ軸:±2° |
X軸:±5mm
Y軸:±5mm
θ軸:±3° |
X軸:±3mm
Y軸:±3mm
θ軸:±3° |
| 上臺面尺寸 |
100mm x 100mm |
160mm x 160mm |
200mm×200mm |
| 底面尺寸 |
120mm x 120mm |
170mm x 170mm |
220mm x 220mm |
| 高度 |
35mm |
45mm |
65mm |
| 重復(fù)定位精度 |
±1.0μm以內(nèi) |
±0.7μｍ以內(nèi) |
±1μｍ以內(nèi) |
| 無效行程 |
3.0μｍ以內(nèi) |
2.0μｍ以內(nèi) |
2.0μｍ以內(nèi) |
| 靜載荷 |
200N |
1000N |
2000N |
| 動載荷 |
100N |
300N |
600N |
| 平行度 |
30μm |
| 額定速度 |
5mm/s |
| 最速度 |
10mm/s |
| 電機型號 |
PK513PA |
TS3664N16E2 |
TS3667N1E2 |
| 絲杠導(dǎo)程 |
1mm |
| 驅(qū)動器型號 |
MC-0514-NF-3L |
| 分辨率*2 |
0.2μm/pulse |
| 傳感器型號 |
PM-L24 |
| 平臺材料 |
鐵：低溫鍍黑鉻處理 鋁：黑色陽極氧化處理 |
| 重量 |
2.2kg |
6kg |
14kg |
| 潤滑脂 |
低發(fā)塵油脂 |
| 型號 |
NAF3C-30 |
NAF3C-40 |
| 行程 |
X軸:±3mm
Y軸:±3mm
θ軸:±3° |
X軸:±3mm
Y軸:±3mm
θ軸:±3° |
| 上臺面尺寸 |
300mm x 300mm |
400mm x 400mm |
| 底面尺寸 |
320mm x 320mm |
400mm x 400mm |
| 高度 |
70mm |
80mm |
| 重復(fù)定位精度 |
±1.0μｍ以內(nèi) |
±0.7μｍ以內(nèi) |
| 無效行程 |
2.0μｍ以內(nèi) |
2.0μｍ以內(nèi) |
| 靜載荷 |
4000Ｎ |
6000Ｎ |
| 動載荷 |
1000Ｎ |
1000Ｎ |
| 平行度 |
30μm |
| 額定速度 |
5mm/s |
| 最大速度 |
10mm/s |
| 步進電機型號 |
PK546PA |
| 伺服電機型號 |
HG-KR053（50W） |
| 驅(qū)動器型號 |
步進驅(qū)動：MC-0514-NF-3L / 伺服驅(qū)動：MR-J4-10A |
| 絲杠導(dǎo)程 |
2mm |
| 分辨率*2 |
步進：0.2μm/pulse 伺服：0.1μm/pulse |
| 傳感器型號 |
PM-L24 |
| 平臺材料 |
鐵：低溫鍍黑鉻處理 鋁：黑色陽極氧化處理 |
| 重量 |
44kg |
60kg |
| 潤滑脂 |
低發(fā)塵油脂 |
*1.步進電機驅(qū)動器為集電極開路型，如果您需要差分型，請與我們聯(lián)系；
*2.此值為默認設(shè)置時的值；
*3.本品安裝于運動部件上時，上述值不適用。
尺寸圖：
| 型號 |
H |
H1 |
H2 |
L |
B |
Z |
W |
A1 |
T1 |
| NAF3C-10 |
35 |
6 |
6 |
120 |
110 |
4-5.5通孔 φ8沉頭深4.4 |
10 |
20 |
4-M2深6 |
| NAF3C-16K |
45 |
8 |
10 |
170 |
150 |
4-5.5通孔 φ9沉頭深5.4 |
160 |
60 |
4-M4深6 |
| NAF3C-20 |
65 |
10 |
10 |
220 |
180 |
4-6.6通孔 φ11沉頭深6.4 |
200 |
90 |
4-M4深10 |
| NAF3C-30 |
70 |
12 |
12 |
320 |
280 |
4-6.6通孔 φ11沉頭深6.5 |
300 |
90 |
4-M4深12 |
| NAF3C-40 |
80 |
15 |
15 |
400 |
370 |
4-9通孔 φ14沉頭深8.6 |
400 |
210 |
4-M6深15 |
| 型號 |
A2 |
T2 |
A3 |
T3 |
A4 |
T4 |
φD |
M |
| NAF3C-10 |
60 |
4-M3深6 |
90 |
4-M4深6 |
- |
- |
- |
- |
| NAF3C-16K |
90 |
4-M4深8 |
110 |
4-M5深8 |
150 |
4-M5深8 |
20 |
- |
| NAF3C-20 |
110 |
4-M4深10 |
180 |
4-M6深10 |
- |
- |
25 |
- |
| NAF3C-30 |
210 |
4-M6深12 |
280 |
4-M6深12 |
- |
- |
60 |
- |
| NAF3C-40 |
280 |
4-M6深15 |
330 |
4-M8深15 |
380 |
4-M8深15 |
100 |
- |
