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探針卡制作與測試探針選材
蘇州聯(lián)業(yè)和精密科技有限公司
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鍵合焊區(qū)的損壞與共面性有關(guān),共面性差將導(dǎo)致探針卡的過度深入更加嚴(yán)重,會(huì)產(chǎn)生更大的力并在器件鍵合焊區(qū)位置造成更大的劃痕。共面性由兩部分決定:彈簧探針的 自然共面性(受與晶圓距離的影響)以及探針卡和客戶系統(tǒng)的相關(guān)性。傾斜造成斜率X、距離Y。當(dāng)測試300mm晶圓時(shí),傾斜程度不變但距離卻加倍了, 就會(huì)產(chǎn)生共面性問題。由于傾斜造成探針卡部分更靠近晶圓,而隨著每個(gè)彈簧向系統(tǒng)中引入了更多的力,造成的過量行程將更大,產(chǎn)生更大的劃痕,與此同時(shí)部分由 于傾斜而遠(yuǎn)離的部分還會(huì)有接觸不良的問題,留下的劃痕也幾乎不可見?紤]到大面積的300mm晶圓,以及需要進(jìn)行可重復(fù)的接觸測試,將探針卡向系統(tǒng)傾斜便 相當(dāng)有吸引力。自動(dòng)調(diào)節(jié)的共面系統(tǒng)降低了較大力造成損壞的可能,并允許測試設(shè)備與不同系統(tǒng)之間的兼容。

根據(jù)測試探針制作流程不同可分成傳統(tǒng)機(jī)械加工與微機(jī)電制造工藝兩部分,后者具有更大優(yōu)勢,可以改善測試探針微細(xì)化、共面度、精度等問題。目前市售垂直式探針卡,均無法達(dá)到偵測每根測試探針力量的功能,測試探針垂直式排列,無法由上而下觀測測試探針接觸情形,改善的方法可借助探針力量回饋或改良影像辨識系統(tǒng),以確保所有探針的接觸狀況都是理想的。

測試探針材 料的選用,必須搭配芯片焊區(qū)或凸點(diǎn)材質(zhì)來決定,一般常見的測試探針金屬選用鎢、鈸銅、鎢錸及鈀合金等。鎢具有高強(qiáng)度,可以輕易刺破焊區(qū)與凸點(diǎn)氧化鋁層,降 低接觸阻抗,但具有較強(qiáng)的破壞性,不適用于薄膜的測試場合;鈹銅合金一般應(yīng)用在鍍金的芯片焊區(qū)或凸點(diǎn),提供比鎢更低的接觸阻抗,但是探針硬度不如鎢離,因 此磨耗比較快;至于鈀合金性質(zhì)類似于鈹銅合金,有比鎢更低的接觸阻抗, 最大的優(yōu)點(diǎn)是可以用電鍍方式來制作探針。其中鎢錸合金(97%-3%)的接觸電阻比鎢稍高,抗疲勞性相似。但是,由于鎢錸合金的晶格結(jié)構(gòu)比鎢更加緊密,其 測試探針頂端的平面更加光滑。因此,這些測試探針頂端被污染的可能性更小,更容易淸潔,其接觸電阻也比鎢更加穩(wěn)定。所以鎢銖合金是一種更佳的選擇。


 

狀 態(tài): 離線

公司簡介
產(chǎn)品目錄

公司名稱: 蘇州聯(lián)業(yè)和精密科技有限公司
聯(lián) 系 人: 范艾文
電  話: 0512-63329178
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地  址: 吳江經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)益堂路179號
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